Feb 22, 2024 Deixa un missatge

Aplicació de tungstè a l'estructura de forats de contacte

El forat de contacte és l'obertura de l'aïllament entre la capa metàl·lica i la regió activa o polisilici. És una estructura clau en microelectrònica, normalment gravada verticalment a l'hòstia de silici, que s'utilitza per connectar la primera interconnexió metàl·lica i el dispositiu de substrat, i s'omple de metalls com el tungstè. Sovint s'utilitza en la fabricació de circuits integrats per realitzar connexions elèctriques entre diferents capes del circuit.

info-700-466
Com que la qualitat del forat de contacte afecta directament el rendiment i la fiabilitat de tot el circuit, el forat de contacte s'ha de dissenyar i fabricar tenint en compte molts factors, com ara el rendiment elèctric, l'estabilitat tèrmica, la resistència mecànica i la productivitat. Per garantir unes bones connexions elèctriques i una menor resistència, els forats de contacte solen estar plens de metall o altres materials conductors. Al mateix temps, per evitar danys mecànics i corrosió química, el perímetre del forat de contacte sol estar cobert amb una capa protectora.

info-700-466

Enviar la consulta

Casa

Telèfon

Correu electrònic

Investigació